四氟化碳

四氟化碳

产品名称：四氟化碳

CAS 号：75-73-0

四氟化碳又称四氟甲烷，氟利昂14； 分子式CF4； 物化性质： 熔点 -183.6℃ 沸点 -128.1℃ 液体密度 （-130℃）1.613g/cm3 临界温度 -45.67℃ 临界压力 3.73MPa 临界密度 7.1dm3/mol 在常温下，四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体，具有很高的稳定性，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水。属于完全不燃性气体。 应用： 四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。 无锡天致化工科技产品质量指标： CF4产品质量标准 项目 指 标 CF4， ％（V/V）≥ 99.999 99.995 99.99 N2， 10-6(V/V) ≤ 4 20 40 O2， 10-6(V/V) ≤ 1 5 10 CO2， 10-6(V/V) ≤ 1 5 10 CO， 10-6(V/V) ≤ 0.3 0.5 1 SF6， 10-6(V/V) ≤ 1 1 5 H2O， 10-6(V/V) ≤ 1 5 10 HF， 10-6(V/V) ≤ 0.1 0.3 0.3 TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8)，10-6(V/V) ≤ 1 10 30 总杂质含量 ppm (V/V) ≤ 10 50 100 产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装，满足不同用户需求。 钢瓶规格 DOT/48.8 L DOT/47L 40L 10L 4L 瓶阀型号 CGA580（正丝） CGA590（反丝） CGA320 DISS716

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